製品概要
Phenom ParticleX粒子自動分析SEMは、
自動車製造における完成車や部品に含まれる
異物・不純物であるコンタミネーション(コンタミ)の
検出からレポート作成まで自動で行う
コンタミ自動分析装置（SEM）です。
従来の重量分析ではコンポーネントに付着した
異物の総重量は分かりますが、その発生源を
特定することは出来ません。
Phenom ParticleX粒子自動分析SEMでは、
異物・不純物毎にサイズ、形状、組成データを
取得することにより、個々の異物・不純物の発生源を捉え、
不具合の原因究明と製品の品質向上をサポートします。
自動車製造における完成車や部品に含まれる
異物・不純物であるコンタミネーション(コンタミ)の
検出からレポート作成まで自動で行う
コンタミ自動分析装置（SEM）です。
従来の重量分析ではコンポーネントに付着した
異物の総重量は分かりますが、その発生源を
特定することは出来ません。
Phenom ParticleX粒子自動分析SEMでは、
異物・不純物毎にサイズ、形状、組成データを
取得することにより、個々の異物・不純物の発生源を捉え、
不具合の原因究明と製品の品質向上をサポートします。
自動分析のメリット
作業者の技量に
左右されない分析結果
他の作業に取り掛かかり
ながらの分析が可能
数千個の異物・不純物を
短時間で分析
異物・不純物の種類毎に
分類及び自動レポート
自動分析フロー
異物・不純物の検出から、分析、レポート作成まで完全自動の手順を紹介します。
①サンプリング
部品や製品を洗浄液でスプレーまたは浸し
その洗浄液と残留物を容器に集める。
右から2番目の図 ‒ 不溶性物質を収集するため、洗浄液をフィルターでろ過。
最も右側の図 – ろ過後のフィルター表面
部品や製品を洗浄液でスプレーまたは浸し
その洗浄液と残留物を容器に集める。
右から2番目の図 ‒ 不溶性物質を収集するため、洗浄液をフィルターでろ過。
最も右側の図 – ろ過後のフィルター表面
②サンプルセット
一度に複数のフィルター試料を設置し連続自動分析。
「最大サンプルサイズ100 x 100mm
(47φフィルター x 4枚）
一度に複数のフィルター試料を設置し連続自動分析。
「最大サンプルサイズ100 x 100mm
(47φフィルター x 4枚）
③自動分析
粗いステップで視野に対しビームを動かし、それぞれのポイントで
シグナルの輝度を記録し、その位置で粒子の存在を示すのに
十分な輝度を有する場合、サイズ計測を開始し、その後
連続的に元素分析、異物の分類作業を行います。
粗いステップで視野に対しビームを動かし、それぞれのポイントで
シグナルの輝度を記録し、その位置で粒子の存在を示すのに
十分な輝度を有する場合、サイズ計測を開始し、その後
連続的に元素分析、異物の分類作業を行います。
④データの蓄積
解析パラメータ:平均径、最大径、最小径、垂直径、
縦横比、面積、周囲長、XY位置、粒子画像、元素組成等
解析パラメータ:平均径、最大径、最小径、垂直径、
縦横比、面積、周囲長、XY位置、粒子画像、元素組成等
⑤データのグラフ化
様々な形式でグラフ化します。
様々な形式でグラフ化します。
⑥自動レポート
自動でレポートを行い、品質の改善に貢献します。
自動でレポートを行い、品質の改善に貢献します。
解析アルゴリズム
異物・不純物の検出から、分析、レポート作成までの原理を紹介します。
①検出
視野に対しビームを動かしながら、各ポイントで反射電子のシグナルを感知します。
シグナルが異物の存在 を示すのに十分な輝度を有する場合、
ソフトウェアが異物として認識しサイズ計測を開始します。
視野に対しビームを動かしながら、各ポイントで反射電子のシグナルを感知します。
シグナルが異物の存在 を示すのに十分な輝度を有する場合、
ソフトウェアが異物として認識しサイズ計測を開始します。
②サイズ計測
小さなボイドエリアを含めて正確に計測作業を行います。
小さなボイドエリアを含めて正確に計測作業を行います。
③元素分析
④分類
スペクトルデータを分類定義に照らし合わせる
スペクトルデータを分類定義に照らし合わせる
⑤識別
参考動画
自動解析デモ
解析データ閲覧
導入事例
世界各地の完成車メーカー、及び部品メーカーで採用されております
1.完成車メーカー
①各部品に対するコンタミネーション(コンタミ)
レベルの基準策定
②市場から戻された不具合品に対する原因解析
③エンジンの耐久試験において採取された
異物の発生源を特定
④部品メーカーから納入された部品に対し、
コンタミネーション(コンタミ)レベルを
抜き取り検査
①各部品に対するコンタミネーション(コンタミ)
レベルの基準策定
②市場から戻された不具合品に対する原因解析
③エンジンの耐久試験において採取された
異物の発生源を特定
④部品メーカーから納入された部品に対し、
コンタミネーション(コンタミ)レベルを
抜き取り検査
2.自動車部品メーカーにおける事例
①洗浄後の部品に対する
コンタミネーション(コンタミ)レベルの検査
②製造ラインにおける
コンタミネーション(コンタミ)発生源の特定
③市場から戻された不具合品に対する原因解析
①洗浄後の部品に対する
コンタミネーション(コンタミ)レベルの検査
②製造ラインにおける
コンタミネーション(コンタミ)発生源の特定
③市場から戻された不具合品に対する原因解析
